德國PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

產(chǎn)品應用領域：
半導體制造
醫(yī)學工程
生物技術
工廠工程
表面計量
天文學

X、Y向上的串擾（Z向運動） 5    -    納米

機械特性

 X、Y向上的空載諧振頻率   3.1    4.2   千赫茲

Z向上的空載諧振頻率 9.8 - 千赫茲

帶負載時X、Y向上的諧振頻率 1.5 (20 克) 2.1 (20 克) 千赫茲

負載容量 10 10 牛

陶瓷類型 PICA, PICA Shear PICA Shear

其他 工作溫度范圍 -20 到 80 -20 到 80 °C

材料 鈦金屬 鈦金屬

尺寸 30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米

30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米

質量 225 190 克

電纜長度 1.5 1.5 米

傳感器/電壓連接 Sub-D24W7（公頭） Sub-D24W7（公頭）

推薦電控 E-536 E-536

訂購信息

P-363.2CD PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

德國PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀